这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。具体可分为下述几种类型。
1.分子真空泵,它是利用高速运动的转子把能量传输给气体分子,使之压缩、排气的一种真空泵。它有以下几种类型:
①索引分子泵,气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被送到出口,因此是一种动量传输泵。
②涡轮分子泵,泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子,它在定子圆盘(或定片)间旋转,转子圆周的线速度很高,这种泵通常在分子流状态下工作。
③复合分子泵,它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合式分子真空泵。
2.喷射真空泵,它是利用文丘里(Venturi)效应的压力降产生的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵,适于在黏滞流和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种:
①液体喷射真空泵,以液体(通常为水)为工作介质的喷射真空泵。
②气体喷射真空泵,以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。
③蒸气喷射真空泵,以蒸气(水、油或汞等蒸气)作为工作介质的喷射真空泵,其中使用油蒸气的喷射泵也称为油增压泵,或称油扩散喷射泵。
3.扩散泵,以低压高速蒸气流(油或汞等蒸气)作为工作介质的喷射真空泵,气体分子扩散到蒸气射流中,被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的,这种泵适于在分子流状态下工作。油扩散泵具有分馏装置,使蒸气压强较低的工作液蒸气进入高真空工作的喷嘴,而蒸气压强较高的工作液蒸气进入低真空工作的喷嘴,它是一种多级油扩散泵。