分子泵的结构原理及发展

　　分子泵从结构上看是属于机械泵一类，但是其作用原理却与一般的机械泵完全不同。

　　分子泵的工作原理是建立在气体压强已属分子流范围，因此，分子泵工作时都带有抽预真空的前置真空泵。

　　最早的分子泵是利用高速旋转的转子，给予与之相碰撞的气体分子以动量，将气体分子驱向出口处，再由前置泵抽除。这种分子泵的抽速不大，现在已很少可见到。

　　从五十年代来到现在，已出现一种完全新型的分子泵-涡轮分子泵。

　　涡轮分子泵的工作原理是基于气体分子在分子流状态下的传输几率。早期的结构是卧式的，六十年代末发展了结构更加简单、紧凑和振动小等特点的立式涡轮分子泵。

　　涡轮分子泵主要由泵体(定子)和转子组成，转子上装有几组一定几何形状的叶片，泵体上装有几组相应的叶片，每组叶片构成一个工作级。转子上的动叶片和泵体上的静叶片间具有很小的间隙。当转子被电机拖动作高速旋转时(转速可达10000-60000转/分)，被抽气体从入口处逐级压缩，最后压缩到出口处由前置真空泵抽走。