低温泵的类型及主要性能

　　低温泵是根据气体凝聚、低温吸附、低温捕集或吸气而获得真空的原理制成的。

　　1.根据泵的工作压力，可分为用于连续流范围的低温泵，用于分子流范围的低温泵，通常为冷凝泵再加上一吸附级或一低温捕集级。

　　2.根据冷却方式，可分为储槽式低温泵、蒸发式低温泵和制冷式低温泵等类型。其中，储槽式低温泵和蒸发式低温泵均使用液态制冷剂进行制冷，冷却屏蔽面常用液体氮，而低温面常用液氦或气氦进行制冷。由于液氢的易燃、易爆性，加上价格较高，尽管它的蒸发焓比液氦高，仍然很少使用。

　　制冷式低温泵的制冷机常用吉福德．麦克马洪型(简称G．M制冷机)和斯特林型(简称St制冷机)。对于大抽速的制冷式低温泵，可以采用液氦温度级的制冷机，并设置J-T阀，组成液体循环制冷装置，有时还利用液体储槽或氮液化机中的液氮来冷却挡板和屏蔽面。

　　低温泵的主要性能

　　①比抽速高，胜过其他所有类型的泵。

　　②外形没有限制，既可浸入真空室内，也可用法兰盘固定在真空室外壁上。

　　③可以提供完全清洁的真空，对真空系统没有污染。

　　④可以获得极低压强的真空度，如10-12Pa以下。而且，低温泵的运行可靠，且抽速比较大时，其投资的运行费用都比传统的真空泵低，易实现自动化。