扩散泵的性能不仅取决于泵体设计和制造工艺,还很大程度上取决于扩散泵油的优劣。
一般对扩散泵油的性能有如下要求:
(1)泵油的室温饱和蒸气压要尽量低,一般要求小于10-6Pa,以利于提高极限真空;而泵油在沸腾时的饱和蒸气压要尽可能高,以利于能在较高的出口压强下工作。这意味着油的饱和蒸气压应当有一个较大的梯度。
(2)良好的热稳定性(在高温下不分解),抗氧化性能好(突然接触大气,不会因过分氧化而影响泵油的性能),化学稳定性好(无腐蚀,不易和金属、气体起反应),无毒害,以保证职工的身体健康。
(3)表面张力大,以减少泵油的爬迁,降低返油率,同时,室温下的黏度要合适。
(4)闪点(着火温度)要高,沸点要低,气化热要小,这样可以降低泵的加热功率。
(5)泵油应不含有水分、水溶酸、水溶碱、机械杂质等。对各种气体和蒸气的溶解度要尽可能小,以保证有高的极限真空和缩短抽气时间。
(6)价格低廉。
扩散泵油的种类
(1)矿物油。它是从石油中提炼出来的具有低饱和蒸气压的成分。
(2)有机酸酯类油。它的分子量很大,蒸气压低,但易氧化和水解,主要产品为奥克脱依耳(化学名称为已癸二酸二乙酯)。
(3)硅油。它的饱和蒸气压低,热稳定性好,在300℃长时间加热不会裂解,在200℃短时间同大气接触也不会氧化。同时,它的黏度随温度的变化也小。
(4)醚。它具有较低的饱和蒸气压,较大的表面张力,无碳氧化合物的污染,主要产品有聚苯醚。
从室温饱和蒸气压,抗氧化性能,返油率,抽速等方面性能来看,扩散泵质量从好到差的顺序是:硅油、聚苯醚、C20烷基萘、酯类油、天然碳氧化合物(石油类)。