扩散泵油返流的原因及解决办法

　　油扩散泵工作时，不管使用什么样的泵油，总有部分油蒸气返流入高真空端、这不但影响泵的 极限压力，还会对被抽容器造成污染。采用返油率评价泵的返流特性。返油率是指在泵人口处，单 位时间，单位面积上返回泵油的质量。不同泵油返油率不同，同一种泵油，油温增高时返油率加大。泵的第一级喷嘴结构、尺寸、形状对返油率也有影响。

　　扩散泵返流油蒸气的来源主要有以下几个方面：

        a．凝结于顶喷嘴表面上的油膜的再蒸发。

        b． 泵壁上凝结油膜的再蒸发和爬移。

        c．喷嘴喷出的高速蒸气射流碰到泵壁后的散射。

        d．油蒸气由喷 嘴喷出后，由于油蒸气分子的热运动、碰撞、反弹，包括泵油爆沸产生的飞溅和压力起伏引起的油 分子直接向高真空侧返流。

　　在顶喷嘴上加一个优选形状的挡油帽，可使返油率大大降低。这种挡油帽的挡油效果较好且对泵抽 速没有太大的影响，所以在现代扩散泵的设计中经常采用这种结构。在顶喷嘴上方，紧贴泵壁加一 挡油环，经实验得知，返油率最多可减少20％。

　　在对降低泵的返油率有更高要求时，可以在抽气系统上采用各种结构的冷阱和障板。另外，调 好泵的最佳加热功率值的方法亦可使返油率减小。在泵加热开始和终止时，返油率将出现峰值，可 以用控制泵口处的阀门的方法来克服。