无油机械真空泵之罗茨泵及爪式泵

　　目前真空技术的应用已扩展到整个工业，某些行业，如食品、卫生、半导体、电子工业等，不能使用有油的旋片机械泵。因此，干式真空泵的出现满足了无油工艺的要求。

　　干式真空泵有非接触型的罗茨式、爪式、螺杆式，接触型的叶片式、凸轮式、活塞式等。非接触型可以高速旋转，但最大压缩比小。接触型的转速不能太高，但最大压缩比大。尤其存大气压附近，因逆流量变大使后者的压缩比为前者的5～8倍。另外，干式真空泵的转速越高，其压缩比越大。从使用寿命、所能达到的压缩比、转速及动平衡性等方面考虑，常采用多级爪式转子串联或罗茨转子与多级爪式转子串联组合成千式真空泵。

　　1．罗茨泵

　　罗茨真空泵是一种无内压缩的旋转变容式真空泵。在罗茨泵泵腔内有两个形状对称的转子，转子形状有两叶、三叶和四叶。两个转子彼此朝相反方向旋转，由轴端齿轮驱动同步转动。气体进入泵体后，随着转子的旋转，被抽气体与前面出气口连通，被前级泵排出。与旋片机械泵不同，罗茨泵没有压缩气体，因此，罗茨泵不能单独对大气排气，必须配以前级机械泵同时工作，由前级机械泵将罗茨泵排除的气体抽走。

　　2．爪式泵

　　爪式泵采用了形状复杂的爪形转子。吸气口和排气口分别固定在转子两侧端盖的侧面上，与上一级和下一级转子相连。两个爪形转子与泵体之间形成泵腔的抽气容积，当两转子按图示方向旋转时，吸气口与泵腔接通，泵腔容积由小变大而吸气：当转子关闭吸气口时吸气结束，随后泵腔容积由大变小而压缩气体；当泵腔容积与排气口接通时，泵腔排气，直到泵腔与排气口隔断时为止，排气结束。转子继续旋转，重复上述吸气、压缩、排气过程。

　　爪式泵常采用两种结构：三级爪式转子加一级罗茨式转子构成多级泵；四级爪式转子串联构成多级泵。这种泵的吸气口、排气口设置在泵腔的端壁上。多级连接很方便，气道流畅，泵内腔压强变化平缓，有利于防止可凝性气体的凝结。

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