低温冷凝泵的主要特点及应用范围

　　低温冷凝(吸附)泵(低温泵)是采用液氦或制冷机循环气氦作冷却介质，利用低温表面将被抽空间的气体冷凝、捕集、吸附或冷凝+吸附，使被抽空间的压力大大降低，从而获得并维持洁净的真空状态的抽气装置。低温泵抽气是一种储存式捕集排气，它所抽走的气体不是直接排到泵外，而是储留在泵内，一旦冷凝表面温度发生变化，它所抽走的气体又会重新放出，而破坏泵的正常工作。

　　低温泵的特点是：

　　(1)抽气压力范围宽，其抽气工作压力范围为lo-1～10-12Pa。

　　(2)起始压力高(原则上可从大气压开始抽气)，极限压力低，极限真空度可达到10-13Pa。

　　(3)抽气速率大，对于20℃空气，低温泵的最大抽气速率可达106L/s(11.6L(S·cm2))。

　　(4)抽气种类广，低温泵可以抽除各种气体，获得清洁的超高真空。特别适合应用在抽除可凝性气体及气体负荷大，真空度要求高的场合。

　　(5)泵的结构形式灵活，低温吸气面可以作成插入式，用于无法布置其他类型泵的场合，使得泵结构设计的自由度增大。

　　(6)作为大容量的排气系统，占地面积小。但是，低温泵运行时需要制冷剂或制冷设备。

　　低温泵的应用范围相当广泛：

　　(1)外层宇宙空间模拟。在空间科学技术中，宇宙空间存在着真空和低温状态，外层空间的真空度可达10-14Pa，温度为3K左右。因此，低温泵是宇宙空间模拟的理想抽气设备。此外，研究空间条件下材料表面现象、低压空气动力学试验、火箭发动机高空点火试验、空间生物技术等，都用到低温泵。

　　(2)应用在高能物理、等离子体研究中。

　　(3)应用在薄膜制备领域。

　　(4)应用在微电子学，尤其是半导体微电子技术，如离子注入、离子刻蚀等。

　　(5)应用在现代表面分析仪器中。