真空泵的工作原理和分类

　　真空泵是利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的装置。基本上可以分为气体传输泵和气体捕集泵两种类型。

　　(1)气体传输泵

　　气体传输泵是一种能使气体不断地吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类型：

　　①变容真空泵：变容真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵。

　　②动量传输泵：是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。

　　(2)气体捕集泵

　　是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。

　　①吸附泵：它是主要依靠具有大表面的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。

　　②吸气剂泵：它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。吸气剂离子泵使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上．以达到抽气的目的。

　　③低温泵：利垌低温表面捕集气体的真空泵。

　　由于真空应用过程所涉及的工作压力的范围很宽．因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和满足各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组形式应用。